采用超聲波方法進行流量檢測的方法應(yīng)用和發(fā)展在近一百年內(nèi)，1912年，R. A. Fessenden首先發(fā)明了水下聲波換能器，使人們確定了采用聲學(xué)技術(shù)進行流量測量的可行性。1928年9月，Rutten在一篇專利中提出了可以用聲波信號的傳播時間差來進行流速測量，這是最早采用時差法測量流體流量的文獻，但是由于當時的時間測量技術(shù)達不到所需要的足夠高的測量精度，所以最終沒有能夠真正實現(xiàn)該方法。1939年，Irving Wolff等提出了使用相位法來進行氣體流量測量，這對于超聲波流量計測量氣體流量方法的發(fā)展是一大進步。在1945年，J. W. Gray提出使用時差法來測量氣體流速，為之后對于時差法氣體流量計的研發(fā)與制作奠定了基礎(chǔ)。但是由于時間測量技術(shù)問題，隨后的很長時間，超聲波流量計的研制都局限在實驗室研究狀態(tài)，沒有能夠進入實際應(yīng)用中去。
一直到20世紀70年代之后，隨著集成電子技術(shù)的迅速發(fā)展，時間測量精度得到了較大的提高，為超聲波流量計的研制提供了基礎(chǔ)，科研人員研制出各種性能完善的超聲波流量計，并大量應(yīng)用于實際場所。到了20世紀80年代之后，超聲波數(shù)字技術(shù)的出現(xiàn)和發(fā)展，使得超聲波模擬技術(shù)逐漸被其給替代，人們通過各種技術(shù)的應(yīng)用，進一步提高了超聲波流量計在流量測量時的準確度，其產(chǎn)品的種類和數(shù)量逐漸增加，在各個領(lǐng)域的應(yīng)用及比重也在慢慢增大。
1989年G. A. Jackson等人提出了采用多聲道的方式進行超聲波流量測量的方法，相比較于傳統(tǒng)的單聲道超聲波流量計，多聲道超聲波流量計的測量精度得到了提高。在這之后，多聲道（大于等于兩個聲道）超聲波流量計漸漸地進入科研人員的研究范圍，其應(yīng)用也在慢慢增加。相比于單聲道流量計測量中采集速度信息不全面，流場適應(yīng)相差的問題，多聲道超聲波流量計能夠進一步提高流量計測量精度。
我國研發(fā)超聲波流量計起步相較國外比較晚，但也取得了一定的成果，從20世紀60年代國內(nèi)以上海自動化研究所和北京大學(xué)等研究機構(gòu)為代表的開始研究超聲波流量檢測技術(shù)，之后經(jīng)過二十多年的發(fā)展，國內(nèi)各研究機構(gòu)通過引進外國先進技術(shù)，加以學(xué)習改進，慢慢的開始生產(chǎn)出具有一定水平的超聲流量計。隨著國內(nèi)各種能源項目的實施，我國流量計行業(yè)正處于高速發(fā)展階段。目前國內(nèi)很多高校和儀器儀表公司都在進行氣體超聲波流量計的研究，并且研制出一批高精度超聲波流量計，但是目前國內(nèi)的研究多集中在單聲道流體超聲波計設(shè)計，并且多應(yīng)用在液體流體的流量測量，與國外水平還有較大的差距。
